氧氩比对纳米ZnO薄膜蓝光发射光谱的影响

摘要

利用射频磁控溅射方法,在石英表面上制备了具有良好的c轴取向的纳米ZnO薄膜.室温下,在300 nm激发下,在450 nm附近观测到ZnO薄膜的蓝光发射谱(430～460 nm).分析了气氛中氧气与氩气比对薄膜质馈及蓝光发射光谱的影响,给出了纳米ZnO薄膜光敛发光谱(PL)的积分强度和峰值强度与氧氩比关系.探讨了纳米ZnO薄膜的蓝光光谱的发射机制,初步证实了ZnO蓝光发射(2.88～2.69 Ev)来自氧空位(V_O)形成的浅施主能级上的电子至价带顶的跃迁.