离子注入技术在n型电池p-n结制备中的应用

摘要

介绍了离子注入制备n型电池p-n结的工艺原理及工艺特点,通过对n型硅片和p+发射极主要参数进行模拟分析,得到高效n型电池性能参数的范围及趋势;并对比不同离子注入剂量对n型电池p-n结方阻、implied Voc及Joe的影响,确定了制备高质量n型电池p-n结的离子注入剂量.