埋沟道P沟CCD红外信号处理器件的研制

摘要

采用三相埋沟结构，研制成了2×64位埋沟道P沟CCD红外信号处理器件。该器件采用埋沟和三层多晶硅技术，其动态范围达到45dB，转移效率≥99．995％，工作频率≥3MHz。本文对该器件的工作原理，设计和制作工艺作了详细的介绍。