激光退火系统

摘要

美国加利福尼亚州Palo Alto的Coherent公司已开始出售它的新型系统5000型连续波激光退火装置，据称：该装置可以显著提高半导体制造过程的生产率。它用氩激光束时，能以高达500厘米/秒的速率扫掠直径大到10．2厘米的薄片。