FeSiAl合金薄膜磁性材料的制备与研究

摘要

本文对FeSiAl合金薄膜磁性材料进行了研究。我们采用了直流溅射的方法制取了FeSiAl合金薄膜,并且研究了各种溅射条件如输入功率,靶材与基板的间距等与成膜速率的关系。讨论了退火前后薄膜的晶体结构,电磁性能。