常温电解抛光液研制及参数选择研究

摘要

在上海交通大学ＭＴＰ－１电解双喷制样仪上，通过对高氯酸与冰醋酸所组成的电解液、高氯酸与甲醇所组成的电解液以及有同溶液组成的电解抛光液的实验，对工艺参数（温度、浓度、电流、电压等）对制取透射电镜薄膜样品抛光效果以及不同电解液的性能进行了综合比较研究，得出了以高氯酸、冰醋酸等的电解抛光液的组成，并提出在ＭＴＰ－１抛光仪上制作透射电镜薄膜样品过程中的最佳抛光工艺条件。