一种高精度小微气体流量发生器

摘要

介绍了一种可测量小微气体流量且测量准确度很高的气体流量发生器.其发生器的核心组件为一副竖直的活塞系统,活塞筒中部开一侧孔,上下两端各有一个活塞环,侧孔外接补偿容器.文章对发生器的工作压力、输出流量、流量平衡、补偿过程等进行研制和研究,给出发生器的工作原理、设计方案、工作步骤、设计要点等,并进行定位和总结.