PROCESS FOR MANUFACTURING ELASTIC ELEMENTS APPLICABLE FOR HIGH-ACCURACY MEASURING SMALL DISPLACEMENTS AND ELASTIC ELEMENT FOR HIGH-ACCURACY MEASURING SMALL DISPLACEMENTS

机译： 精确测量低速位移的弹性方法和精确测量低速位移的弹性元件的方法

机译： 压电元件的位移放大器用于执行器的减振器-具有位移传递部件，支架和腔室，由两个弹性元件密封，由于第二个弹性密封元件的位移而导致较大的腔室容积变化

机译： 光学元件及光学元件的模具的位移测量装置，位移测量方法，制造方法