一种小微气体流量发生器

摘要

本发明公开了一种小微气体流量发生器，属于小微气体流量计量领域。本发明包括工作腔体，工作腔体上方连通一顶部开口的活塞筒，活塞筒内壁分别设置上活塞环和下活塞环；活塞筒内设有与上活塞环和下活塞环配合的活塞；活塞筒的侧壁设置开孔，开孔通过管道连通可变容积的补偿容器；补偿容器与工作腔体分别通过管道连通洁净气源；补偿容器与洁净气源之间的管道上以及工作腔体与洁净气源之间的管道上均设有截止阀；工作腔体还通过管道连通监视流量计，工作腔体与监视流量计之间的管道上也设有截止阀；监视流量计后面的管道上设有流量调节阀；活塞的正上方设有位移测量仪。本发明可用于校准对应测量范围的0.5级或更高等级的小、微气体流量计。