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乌氏干涉仪示值误差检定及其方法误差分析

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JJG101-81检定规程指出:检定示值误差应在分度值为0.2,0.1,0.05UM情况下以二等量块配对法进行.

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来源
《上海计量测试》 |1997年第5期|32-33|共2页
作者
林伟光;
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作者单位

桂林市计量测试研究所;

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正文语种 CHI
中图分类 TH744.306;
关键词
干涉仪; 乌氏干涉仪; 示值误差; 检定;

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