标准静态膨胀法真空装置研制

摘要

本装置检定范围(10-3～105)Pa,最佳校准能力0.012%～2.2%,可以检定薄膜真空计,热传导真空计以及电离真空计.该装置的建立不仅满足了从大气到10-3Pa高真空计量的需求,而且还可以用来校准标准漏孔,拓宽了检测领域.