论超精密机械研磨过程中保证工件质量必备的基本条件和必须遵循的基本原则

摘要

超精密加工系指被加工工件的尺寸精度和几何形状精度在(0．1～0．01)μm，而表面粗糙度为Rao．o1μm以上的精密加工工艺方法。由此可见，需要进行超精密加工的工件其精度要求极高，工艺难度极大。