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基于坐标测量机的步距规激光校准系统

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该文介绍坐标测量机与激光干涉仪对步距规进行校准的测量原理和测量过程,测量结果与DKD证书进行对比,并分析测量结果的不确定度.

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来源
《上海计量测试》 |2010年第6期|20-22,26|共4页
作者
姜志华; 魏勇;
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作者单位

上海市计量测试技术研究院;

上海大学;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
步距规; 坐标测量机; 激光干涉仪; 不确定度分析;

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