首页> 中文期刊>山东工业技术 >基于气敏元件的ZnO薄膜的RF制备及表征

基于气敏元件的ZnO薄膜的RF制备及表征

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文用RF磁控溅射的方法在Si片上沉积ZnO薄膜,探讨了衬底温度、氧氩比和退火处理和薄膜的结晶速率、结晶质量和电阻率的关系,为沉积符合气敏元件的ZnO敏感薄膜提供研究参考.

著录项

来源
《山东工业技术》|2018年第18期|47-48|共2页
作者
李超;
展开▼
作者单位

遵义医学院医学信息工程学院,贵州遵义 563000;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
ZnO薄膜; RF磁控溅射; 气敏元件; 电阻率;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 旁热式TiO2/MoO3复合厚膜邻二甲苯气敏陶瓷元件的制备及特性表征 [J] . 王智民 ,张新 ,张艳熹 . 黑龙江大学自然科学学报 . 2003,第002期
2. ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程 [J] . 李长庆 ,邢建平 ,黄少艳 . 传感技术学报 . 2007,第008期
3. ZnO薄膜气敏元件 [J] . 孙静静 ,陈慧凯 ,裘南畹 . 计测技术 . 2006,第0z1期
4. ZnO薄膜气敏元件 [J] . 孙静静 ,陈慧凯 ,裘南畹 . 计测技术 . 2006,第B09期
5. NO2光波导气敏元件的制备及气敏性 [J] . 赛亚尔·库西马克 ,塔吉古丽·依马木买买提 ,玛丽亚·马木提 . 仪表技术与传感器 . 2018,第011期
6. ZnO薄膜气敏元件 [C] . 孙静静 ,陈慧凯 ,裘南畹 . 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会 . 2006
7. 基于微热板的气敏元件制备及其检测系统设计 [A] . 郭振亚 . 2013

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号