NO2光波导气敏元件的制备及气敏性

摘要

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)合成了有机硅溶胶,以间甲酚紫(m-Cresol Purple,m-CP)为敏感试剂,研制了m-CP-有机硅复合薄膜/K+交换玻璃光波导NO2气体传感元件.结果表明,该传感元件在室温条件下对NO2气体具有较高的选择性响应,能检测体积分数为1.0× 10-9(V/V0)(信噪比S=15.6)的NO2气体,响应-恢复时间分别为1 s和8s.体积分数在1.0× 10-3～1.0× 10-9(V/V0)范围内输出光强度的变化与气体浓度之间有良好的线性关系(R=0.98),相对标准偏差(RSD)为0.3％ ～0.9％,表明该传感器检测数据可靠,能够满足低成本、快速、现场检测的需求.