涂层制备方法对锆合金表面SiC涂层的影响

摘要

本文分别利用热丝化学气相沉积和射频磁控溅射在锆合金基体上制备了SiC涂层,利用金相显微镜、扫描电子显微镜研究了不同制备方法对基体微观组织和涂层表面形貌的影响;利用多功能材料表面性能测试仪、定氢仪对涂层结合强度和基体氢含量进行了分析.结果表明:与锆合金原样相比,热丝法制备涂层后,基体晶粒尺寸明显增大,最大达到50μm左右,同时氢含量有较大的增加;射频磁控溅射法制备涂层后基体微观组织及氢含量没有发生明显变化;热丝法制备的涂层呈颗粒堆积形貌,表面较粗糙,射频磁控溅射法制备的涂层表面总体较光滑,涂层的结合性能较优;本研究旨在为锆合金表面涂层制备方法的选择提供一定的指导.