超声扫描显微检测系统校准技术

摘要

本文设计了一种超声扫描显微检测系统校准方法,该校准方法以超声显微检测系统为校准背景,在介绍了该系统工作原理的基础上,阐述了超声扫描显微检测系统超声换能器、组合系统性能、空间扫描测量系统、分辨力特性等参数的校准方法,并分析了其校准设备不确定度来源.