光干涉仪对猫眼后向反射器及其导轨的要求

摘要

对猫眼后向反射器中,小平面反射镜的离焦、延迟线导轨的不平度、不准直度所产生的光束偏转和波前畸变作了详细分析;并给出了一定条纹可见度损失的情况下各部分的允许误差。