一种激光后向反射器阵列相位精密调整机构及其检测、调整方法

摘要

本发明公开了一种激光后向反射器阵列相位精密调整机构及其检测、调整方法，该激光后向反射器阵列相位精密调整机构，包括反射器单元、阵列体、驱动机构；所述反射器单元用于安装单个激光后向反射器，所述阵列体用于组合多个反射器单元，所述驱动机构用于驱动单个反射器单元的位移。该检测、调整方法包括：利用沿直线依次设置的激光光源、分光镜、透镜、激光后向反射器阵列相位精密调整机构，分光镜反射光路设置的光探测器，检测反射光束远场光斑图像，对反射器单元进行调整。本发明实现了激光后向反射器阵列活塞相位误差的矫正，提高了激光后向反射器阵列反射光束远场衍射峰值能量，扩展了激光后向反射器阵列使用场景。