钛金属对掺镁铌酸锂晶体表面的刻蚀效果研究

摘要

以掺镁铌酸锂( Mg:LiNbO3)晶体为基础,通过由Mg:LiNbO3、钛膜、Mg:LiNbO3组成的夹层结构(sandwich structure)在1050至1100 ℃的温度下,并且通湿氧的环境中进行退火,证明了Mg:LiNbO3晶体的表面刻蚀,并验证了刻蚀深度会受到初始钛膜厚度、退火温度和退火时间的作用.结果显示,最大刻蚀深度可以达到260 nm,且刻蚀表面的粗糙度小于5 nm.经过对于刻蚀参数的优化,可以获得更深的刻蚀深度.这为通信领域的相关器件制作提供了新的制作方法.