低温下生物衬底上制备半导体氧化物薄膜

摘要

半导体材料由于其优异的特性,近年来成为了材料科学与物理、化学、生物、电子信息技术等交叉学科研究的热点。本文研究了在生物衬底上制备半导体氧化物薄膜材料的工艺与技术,实现了低温下生物衬底上氧化物半导体薄膜材料的制备与研究。