垂直腔面发射半导体激光器关键技术及产业化

摘要

垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)是激光发射方向与芯片表面垂直的新型半导体激光器.VCSEL的垂直短腔结构使其阈值电流可低至毫安量级,适合配置到各种供电资源有限的便携式设备或子系统中;VCSEL可通过二维面阵结构提高输出功率,而整个阵列使用单个透镜整形即可发出平行光,满足远距离探测或照明的应用要求.