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半导体器件中金属化系统的失效模式

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摘要

阐述了半导体器件中金属化系统的失效模式和机理,提出了为消除金属化系统失效模式和提高金属化系统可靠性而采取的措施.

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来源
《甘肃科技纵横》|2006年第6期|4816|共2页
作者
蒲耀川;
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作者单位

天水天光半导体有限责任公司,甘肃,天水,741000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
金属化系统; 可靠性; 失效模式; 电迁移;
入库时间 2022-08-18 09:38:10

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