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控制外延层过渡区改善Icm参数

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双极型晶体管的Icm参数是衡量其大电流特性的重要参数,Icm的定义为:共发射极电流放大倍数下降最大值的一半时所对应的集电极电流.Icm参数是衡量晶体管大电流特性的重要参数,通过优化工艺,可以有效减少外延材料过渡区宽度,并且在Gemini2外延炉上生产出的外延材料Icm参数已达到国内先进水平.

著录项

来源
《科技创新导报》 |2018年第17期|89-90|共2页
作者
贾云波; 陈建标; 孙斌;
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作者单位

江阴新顺微电子有限公司江苏江阴 214431;

江阴新顺微电子有限公司江苏江阴 214431;

江阴新顺微电子有限公司江苏江阴 214431;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
Icm参数; 外延; 过渡区; 自掺杂;

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