二氧化硅的氢氟酸缓冲腐蚀研究

赵孟钢

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二氧化硅的氢氟酸缓冲腐蚀研究

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本文讨论了二氧化硅在氢氟酸缓冲(BHF)腐蚀溶液中的腐蚀特性.研究了二氧化硅在腐蚀液中的腐蚀速率、表面粗糙度及腐蚀深度随着NH4F配比、HF配比及腐蚀液温度的变化规律.通过改变腐蚀液配比和腐蚀温度等条件,从腐蚀速率及表面形貌等方面进行了比较和分析,确定不同条件下二氧化硅的腐蚀速率,以及腐蚀条件对二氧化硅表面粗糙度及表面深度的影响.

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来源
《科技信息》|2013年第13期|196-197|共2页
作者
赵孟钢;
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作者单位

西安工业大学,陕西西安710032;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
二氧化硅; 腐蚀速率; 腐蚀深度; 表面形貌; 粗糙度;

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