21世纪微电子技术发展展望

摘要

1.集成电路技术的高速发展 几十年来集成电路（IC）技术一直以极高的速度发展。著名的摩尔（Moore）定则指出IC的集成度（每个微电子芯片上集成的器件数）,每3年左右为一代,每代翻两番,对应的IC制作工艺中的特征线宽每代缩小约30％。根据按比例缩小原理（Scaling Down Princi-ple）,特征线条越窄,IC的工作速度越快,单元功能消耗的功率就越低。