微电子科学技术和集成电路产业——技术讲座 第四章 21世纪硅微电子技术发展的主要趋势和方向

摘要

21世纪上半叶,微电子技术仍将以尺寸不断缩小的硅基 CMOS 工艺技术为主流。尽管微电子学在化合物半导体和其它新材料方面的研究及在某些领域的应用取得了很大进展,但还远不具备替代硅基工艺的条件。硅集成电路技术发展至今,全世界数以万亿美元计的设备和技术投入,已使硅基工艺形成非常强大的产业能力。同时,长期的科研投入已使人们对硅及其衍生物各种属性的了解,达到十分深入、十分透彻的地步,成为自然界100多种元素之最。