试论屏蔽泵在多晶硅生产中的维护使用

摘要

多晶硅生产中泵的流量需要大于额定流量,不能低于泵的允许最少流量值,生产如果没有满负荷运行,流量不能达到额定流量,但可以通过生产工艺调节,加大回流比等方法,可以使泵的流量加大,这样不仅不影响当前的试生产,还能够达到保护泵的目的.