一种多晶硅生产中使用的硅芯及其硅芯组件

摘要

一种多晶硅生产中使用的硅芯及其硅芯组件，涉及多晶硅生产领域，本发明所述的硅芯由若干相互并列排置的竖硅条组合而成，各竖硅条之间留有间隙，便于还原炉中的反应气体从硅条之间穿过。组合后的硅芯横截面不同于传统的实心结构的硅芯，可以用较少的硅材获得较大的结晶表面积，从而加快多晶硅的形成。其优点在于：1、硅条的拉制及组合简单、操作方便。2、生产效率高，后期使用成本低。