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多晶硅产品内磁性物质来源排查及控制措施简述

         
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摘要

多晶硅作为高纯产品,极少量的杂质都会对其品质产生严重的影响.其中金属杂质会影响载流子浓度,可大幅度降低少子寿命.本文系统阐述了排查多晶硅处理过程中可能引入的磁性金属杂质来源的过程,提出了如何在多晶硅处理过程中有效控制磁性金属杂质的措施.

著录项

  • 来源
    《科学与信息化》 |2018年第6期|6062|共2页
  • 作者

    红星; 李晓东; 高嘉伟; 董成官;

  • 作者单位

    内蒙古神舟硅业有限责任公司 内蒙古 呼和浩特 010070;

    内蒙古神舟硅业有限责任公司 内蒙古 呼和浩特 010070;

    内蒙古神舟硅业有限责任公司 内蒙古 呼和浩特 010070;

    内蒙古神舟硅业有限责任公司 内蒙古 呼和浩特 010070;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
  • 关键词

    多晶硅; 磁性; 金属杂质; 措施;

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