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基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作

         
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摘要

为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统(MEMS)领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS 工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,为仿昆虫微扑翼飞行器的研制提供了一种很好的途径.

著录项

  • 来源
    《机器人》 |2011年第3期|366-370|共5页
  • 作者

    迟鹏程; 张卫平; 陈文元; 李洪谊; 孟坤; 崔峰; 刘武; 吴校生;

  • 作者单位

    上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 200030;

    中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室 辽宁 沈阳 110016;

    上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 200030;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 机器人;
  • 关键词

    微扑翼飞行器; SU-8; MEMS; 仿生机器人;

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