首页> 中文期刊> 《赤子》 >直流反应磁控溅射TiN薄膜表面形貌研究

直流反应磁控溅射TiN薄膜表面形貌研究

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

文献数据库（团队版） >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

研究溅射电流对TiN薄膜表面形貌的影响.结果表明:当其他参数不变的情况下,薄膜表面粗糙度(RMS)随电流的增大先变大后变小.在电流达到3A时,粗糙度达到最小值.

著录项

来源
《赤子》 |2012年第2期|179|共1页
作者
李丽; 吴卫; 杨翠丽;
展开▼
作者单位

齐齐哈尔工程学院机电系,黑龙江齐齐哈尔151006;

西华大学材料科学与工程学院,四川成都610039;

齐齐哈尔工程学院机电系,黑龙江齐齐哈尔151006;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
TiN薄膜; 反应磁控溅射; AFM; RMS;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 沉积温度对直流磁控溅射TiN薄膜结构和r表面形貌的影响 [J] . 肖畅飞 ,邹树梁 ,唐德文 . 南华大学学报（自然科学版） . 2017,第004期
2. 直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN薄膜提高合金抗腐性的研究 [J] . 高福毅 ,陈玉强 ,彭鸿雁 . 牡丹江师范学院学报（自然科学版） . 2010,第001期
3. 直流反应磁控溅射制备单一相Cu2O薄膜及光电性能研究 [J] . 王进霞 ,洪瑞金 ,张涛 . 功能材料 . 2017,第004期
4. 直流反应磁控溅射制备Zn1-xCdxO薄膜的结构和光学性能研究 [J] . 姚斌 ,岳永高 ,隋瑛锐 . 吉林师范大学学报（自然科学版） . 2014,第003期
5. 直流反应磁控溅射制备a-C:H薄膜及其表面粗糙度研究 [J] . 张艳茹 ,杭凌侠 ,郭峰 . 表面技术 . 2013,第2期
6. 直流反应磁控溅射相关工艺条件对TiO2薄膜表面形貌的影响 [C] . 王贺权 ,东北大学 ,巴德纯 . 第八届真空冶金与表面工程学术会议 . 2007
7. 直流反应磁控溅射法制备TiN薄膜及其性能研究 [A] . 王有欣 . 2007

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号