半导体器件失效分析数据库

摘要

一、引言 随着微电子技术的发展,半导体器件已进入超大规模集成电路(VLSI)和高可靠性时代。而半导体器件可靠性的提高则强烈地依赖于半导体器件的失效分析工作。所谓失效分析就是对失效器件采用电测量和物理、冶金以及化学方面的许多先进分析技术,验证所报告的失效现象,识别其失效模式,分析研究其失效机理,确定产生这种失效模式原因,并提出防止这种失效模式重复出现,