溶胶凝胶法制备铜铁矿结构p型透明导电氧化物薄膜

摘要

铜铁矿结构p型透明导电氧化物(transparent conducting oxide,TCO)薄膜是一类在电子学领域具有广泛应用前景的新材料,因其可与n-TCO薄膜形成真正意义上的"透明器件"而备受关注.本文介绍了铜铁矿结构p-TCO的结构特性以及溶胶凝胶法的基本原理和特点;系统地介绍了溶胶凝胶法制备铜铁矿结构p-TCO薄膜的工艺;分析比较了有机醇盐、无机盐溶胶体系的优缺点;最后讨论了进一步的发展方向,指出溶胶凝胶法是一种高效可行的制备p-TCO薄膜的方法.