层迭,薄膜技术导致HBM敏感器和传感器性能提高

摘要

机械量电测敏感器和传感器的任务是提供正比于被测参数的电信号。完成这一使命可采用许多不同的原理,其中最常用的是应变计原理,它先经弹性体将机械量转换成应变,然后由粘贴在弹性体表面的应变计转换成相应的微小电阻变化,最后转换成电压或电流信号。应变计原理有许多优点,诸如应变与电阻关系的直线性极佳;热漂移小;长期稳定性好,尤其当四片应变计连成惠斯登电桥的桥路时长期稳定性更好。此外,应变弹性体便于加工成各种几何形状,因而适用于制造各类负荷、测力、压力、转矩、应变、位移和振动传感器。大约25年以前应变计由康铜丝制成。