半导体制造业MES中的生产计划调度研究

摘要

生产计划调度是制造执行系统的核心.基于半导体制造业生产特点,研究了半导体制造业MES中的生产计划调度问题,给出生产计划调度系统的基本构架.根据客户需求制定生产计划,再细化为车间层可操作的作业计划,确定每台设备上加工安排,通过拟实调度处理动态不确定问题.通过生产计划制定、作业计划生成和拟实调度可以实现半导体制造生产过程平稳进行.