超精密高性能氮化硅轴承研究现状与应用

摘要

轴承被称为机械工业的“芯片”,没有超精密高端轴承就没有尖端装备.超精密氮化硅球轴承是性能优异的高端陶瓷轴承,制造技术复杂.氮化硅(Si3N4)材料属于高强度人工晶体,具有密度小、硬度高、耐高温、耐腐蚀、电绝缘、不导磁、抗压强度高、自润滑性能好等金属材料不可比拟的诸多特点,以氮化硅球作为滚动体、以合金钢为套圈制成的混合陶瓷轴承,最充分利用了氮化硅材料抗压强度高、合金钢抗弯强度高、韧性好等优点,因而氮化硅轴承具有重量轻、极限转速高、摩擦力矩小、运转精度好、使用寿命长等一系列优点.本文对于国内外氮化硅轴承的发展历史、研究现状与应用情况进行了详细评述.