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普民;
无;
蚀刻 ; 宽束; 离子源 ; 表面清洗 ; 金属表面 ;
机译:用宽束离子源通过W形凹靶的离子束溅射完成金属环的完全涂覆
机译:使用宽束离子源修改Ni-MoS2接触界面
机译:内离子束参数对低能量宽梁离子源自组织图案形成的重要性
机译:金属表面沉积和表征:超高真空研究和电子束光刻研究。
机译:来自冷原子束离子源的高亮度Cs聚焦离子束
机译:用于核靶应用的宽束鞍场离子源的描述
机译:宽天线束的多天线感应耦合等离子体离子源
机译:具有多个宽离子束天线的电感耦合等离子体离子源
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