一种空心阴极宽束考夫曼离子源

摘要

本实用新型提供了一种空心阴极宽束考夫曼离子源，涉及一种离子源，其包括放电室筒、阴极组件、阳极、充气嘴、离子引出系统和中和器，阴极组件包括阴极、阴极座和阴极靴，阴极座的底部侧面连接后磁钢座，阴极为空心阴极钽管且设置在阴极座的中心，阴极靴镶嵌在阴极座上部的圆柱形筒内，阴极靴的上部为倒锥形空心结构，阴极靴的中心与阴极的内部连通，充气嘴与阴极和阴极靴的中心连通，阳极设置在阴极组件的上部，离子引出系统的下表面中心设置散流器。本实用新型可以在较宽的高真空范围内的本底真空环境下稳定输出大口径均匀性较好的离子束。