背散射方法测薄膜厚度和杂质分布

摘要

背散射分析是一种定量的、对重元素敏感的离子束分析技术,用于分析固体材料的近表面区域.简述了背散射分析的基本原理、实验装置及具体实验过程,详述了SIMNRA软件在背散射能谱分析中的使用方法.以具体的实验为例,描述了测定薄膜样品的成分及厚度,以及离子注入掺杂样品的杂质浓度及深度分布的测量方法,利用SIMNRA软件对背散射谱进行了模拟分析,模拟结果与实验数据符合较好.实验表明,背散射分析可精确测量薄膜样品的厚度和掺杂样品中的杂质分布.