化学气相沉积过程各参数对沉积速度和薄膜晶体组织结构的影响

摘要

以氢气还原氯化钨沉积纯钨薄膜为例 ,简述了化学气相沉积法反应的主要原理 ,叙述了在反应过程中各参数对沉积速率的影响 。