薄膜材料X射线衍射物相分析与内应力测定

摘要

基于不对称布拉格反射理论 ,介绍了薄膜材料二维X射线衍射分析方法 ,并对铝合金表面的TiN薄膜进行了分层掠射分析 ,证实了该分析方法的可行性。结合掠射、侧倾、内标及交相关函数定峰等技术 ,改进了常规X射线应力测量方法 ,测量了上述薄膜中的内应力 ,表明可显著提高内应力测量精度。