ULTRA PLUS场发射扫描电子显微镜的日常维护及故障排除

摘要

以德国蔡司ULTRA PLUS扫描电子显微镜为例,从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面总结分析了场发射扫描电子显微镜的日常维护保养方法和故障排除方法。以期解决扫描电子显微镜的日常维护和常见的故障排除问题,降低电镜维护保养成本,延长使用寿命。