两种测定难熔单晶晶面偏离角方法的对比

摘要

单晶晶面偏离角的测定是单晶生长和加工过程中的重要环节,通过试验比较研究了两种测定难熔单晶晶面偏离角方法的优缺点。结果表明:在试样高速旋转同时对试样进行固定2θ角扫描的θ扫描方法,能够快速准确地测定出偏离角,测定效率高,完全可以满足现阶段单晶生产过程中对晶面偏离角测定的要求。而另一种方法是由(ω,φ)二维数据确定出晶面偏离角和晶面方位,但该方法测试时间过长,效率低下。