EBCCD的成像特性及其制作工艺

摘要

背照式CCD的入射光是从其背面入射,避免了正面入射时电极对光的损耗,因而量子效率高。以背照式CCD为核心器件的EBCCD,具有增益高,噪声小等特点。在简要分析了EBCCD的结构和成像特点基础上,着重介绍了EBCCD的关键制作工艺:减薄和背面处理。减薄的目的是要均匀地去除硅衬底的无源部分,使光信号从CCD背面直接注入到芯片的有源区,减少信号载流子的复合几率。背面处理的主要目的是在CCD基片内建立较强的电场,以减少表面载流子复合所引起的信号电子损失,使增益在容许的最大电压下到达最大值。减薄工艺中采用仅减薄CCD的光敏区,其它面积不减薄法,可以将基片厚度可减薄到8 um,且整个光敏面的均匀性好;硼离子注入退火的背面处理法,使增益控制范围可达到2000。