马赫-曾德干涉型波分复用器的容差分析

摘要

通过耦合模理论分析了马赫 曾德干涉(MZI)型波分复用器各结构参数工艺误差对器件串扰的影响,比较了各结构参数的工艺容差性。结果表明,如果串扰要求在-30dB以下,则波导臂长差的容差性为1%,耦合长度的容差性为2%,波导宽度的容差性较好;容差达到0.6μm时,串扰仍然在-58dB;波导间距对工艺精度要求最高,要求误差小于0.03μm。