法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-06
授权
授权
2018-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D5/353 申请日:20180427
实质审查的生效
2018-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/353 申请日:20180427
实质审查的生效
2018-10-23
公开
公开
2018-10-23
公开
公开
2018-10-23
公开
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机译: 横向剪切干涉法中记录光程差波的方法;实现该方法的三光束干涉仪的应用;改进的马赫曾德尔干涉仪,用于实现此方法
机译: 光程差调节装置,具有带两个干涉仪的干涉测量装置,其中干涉仪中分光束的光程长度可以通过彼此机械耦合的组件来设置
机译: 包括以非平均方式驱动的马赫曾德干涉仪的波长测量装置