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鲍俊峰; 曹钟慧; 袁野; 邹勇卓; 吴兴坤;
浙江大学光及电磁波研究中心光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室;
微光电子机械系统; MOEMS; 光开关; 电火花加工; EDM; 光纤通信; 开关时间; 工作原理; 性能测试;
机译:可控的双稳态光开关和混合光学机械半导体微腔中的正常模式分裂,其包含幅度调制场驱动的单量子点
机译:交叉波导型光开关,通过电场驱动微滴注入到微通道中的微小液滴---微通道制造技术和开关特性---
机译:新型静电驱动的大体积微机械开关光开关
机译:现场驱动的微总分析系统微流致动器:磁流体动力学微泵和微流控开关,静电DNA提取器,介电泳DNA分选仪。
机译:由声驱动的振荡微气泡驱动的单层平面光流体开关
机译:表面微加工微引擎作为微机械齿轮的驱动器
机译:光机械微器件以及使用该光机械微器件的光机械微偏转器
机译:微机械装置,微开关,可变电容器高频电路和光开关
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