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杨保和; 陈希明; 赵捷; 杨晓苹; 徐晟; 李明;
天津理工大学光电信息学院;
声表面波(SAW); LiNbO3薄膜; 金刚石; 射频磁控溅射; 择优取向;
机译:使用由MEMS结构实现的CVD-4.5GHz高频谐振器形成的LiNbO_3薄膜的高频夯波器件LiNbO_3薄膜夯波
机译:高c轴择优取向的p型SnO薄膜的制备与表征
机译:36度YX-LiTaO3衬底上掺杂ZnO薄膜的择优取向研究及爱情模式器件的制造
机译:通过溶胶-凝胶工艺在SiO_2 / Si上制备的LiNbO_3薄膜用于有源SOS器件应用
机译:通过化学气相沉积法制备和表征钴酸锂锂,用于薄膜电池和电致变色器件。
机译:外延生长的在薄膜平面中具有单轴轴的BaM六铁氧体薄膜用于自偏置器件
机译:用于微波器件的高质量C轴取向HTsC薄膜
机译:用于薄膜半导体结构的退火,用于薄膜半导体的退火方法,薄膜半导体器件,薄膜半导体器件制造方法和显示器件。
机译:用于退火的薄膜半导体结构,用于薄膜半导体的退火方法,薄膜半导体器件,薄膜半导体器件的制造方法以及显示
机译:异质结构层压薄膜,制备异质结构层压薄膜的方法和包含异质结构层压薄膜的半导体器件
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