用魔镜方法检测硅片的生长管道和星形结构

摘要

检测硅抛光片及硅外延片中的生长管道和星形结构缺陷，常规的方法是化学腐蚀法。该广阔产片有破坏性，本文介绍一种检测硅片中生长管道和星形结构缺陷的新方法－“魔镜”检测方法。该方法对检测各种镜状表面具有无损、直观、快速有效等优点。用魔镜检测法与常规的化学腐蚀方法进行了比较，其结果吻合相当好。